超低壓等離子噴涂沉積技術是近年來發展起來的一項新技術。技術特點是基于原有的低壓等離子噴涂（通常噴涂工作壓力為5000-8000Pa），采用大流量真空泵使容器內的動態工作壓力達到100Pa以下，并配置150kw大功率等離子噴槍使高溫粉末從噴槍噴出。在加熱期間，身體達到一定的氣化速率。該技術結合了傳統的等離子噴涂或低壓等離子噴涂固化，形成噴涂和物理氣相沉積，以氣/固方式形成沉積膜。該技術可用于制備傳統等離子噴涂和物理氣相沉積的不同涂層結構，為材料的表面改性提供了一種新的技術方法。
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